SEMI인증 이란

국제반도체장비재료협회 (Semiconductor Equipment and Material International)
SEMI는 40년의 역사를 가진 세계 반도체 장비, 재료 산업 및 평판 디스플레이 (FPD), MEMS, NANO, 태양광 산업을 대표하는 글로벌
산업협회입니다. SEMI의 목적은 산업의 문제점을 정확히 제시하고, 공통된 목적을 회원사가 성취할수 있도록 지원하는 것입니다.

1987년이래, SEMI 표준은 국제적으로 제정되고 공표되었으며, SEMI 가이드라인은 전세계 반도체 장비업체의 비 강제표준으로
사용합니다. SEMI는 반도체 생산에 필요한 전 공정 및 후 공정 장비가 환경, 건강 및 안전을 확보하는데 필요한 표준을 제시합니다.
SEMI 규격의 특징은 미국규격을 기본으로 하여 반도체 장비와 관련된 특수요구사항 및 국제 및 유럽 규격을 바탕으로 작성된 규격이며
국제규격의 성격을 갖고있습니다.
SEMI는 인증이 아니며, Report라고 이야기하는데, 이것은 SEMI가 협회이며 인증이라는 공식적인 절차를 규정하지 않기 때문이며,
다만 SEMI는 반도체 장비가 갖추어야 할 표준(Guideline)을 규정합니다.

이를 바탕으로 컨설팅, 시험, 인증기관에서는 SEMI Standards Compliance Report (SEMI 규격 적합성 레포트)라는 서비스를
The third party (제 3자)의 입장에서 자율적으로 시행하고 있으며, 이것이 관련업게에서는 인증처럼 여겨지고, 장비업체는 고객의
요청에 의해 SEMI Standards Compliance Report (SEMI 규격 적합성 레포트) 서비스를 받게 됩니다.
이 서비스는 가이드라인에 따른 시험, 평가, 검사를 하고 그 결과를 Report로 발행하며, 이를 고객에게 제출하는 형식이며, 이를 편의상
SEMI 인증이라고 호칭합니다.

SEMI® Equipment Safety Guidelines

• S1 Equipment Safety Labels
• S2 Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment
• S3 Heated Chemical Baths
• S4 Segregation/Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets Flow-Limiting Devices
• S6 Ventilation
• S8 Ergonomics Engineering
• S9 Electrical Design Verification Tests
• S10 Risk Assessment
• S11 Equipment Mini-environments
• S12 Equipment Decontamination
• S13 Operation and Maintenance Manuals
• S14 Fire Risk Assessment and Mitigation
• S15 Toxic and Flammable Gas Detection Systems
• S16 Equipment Disposal
• S17 Unmanned Transport Vehicle (UTV) Systems
• S18 Silane Family Gases Handling
• S19 Training of Semiconductor Manufacturing Equipment Installation, Maintenance and Service Personnel
• S20 Identification and Documentation of Energy Isolation Devices for Hazardous Energy Control
• S22 Electrical Design